Системы водоподготовки для микроэлектроники

Получение ультрачистой воды

Сегодня микроэлектроника – по-прежнему один из основных катализаторов научно-технического прогресса важнейших отраслей народного хозяйства. А уровень развития и объемы производства ее основных изделий – интегральных микросхем (ИМС) – во многом определяет оборонный, экономический и культурный потенциал страны. В общем случае производство интегральных микросхем можно разделить на три фазы: производство материалов, изготовление пластин, а также сборка с испытаниями и измерениями. Максимальное потребление высокочистой воды характерно для второго этапа, на котором проводится отмывка уже готовых пластин различной топологии.

	ОАО «НИИ молекулярной электроники и завод «МИКРОН», г. Зеленоград. Система электродеионизации производительностью 35-50 м3/час.			Системы хранения и распределения высокочистой воды для микроэлектроники

Высокие требования качеству подготовленной воды предъявляются также в производстве полупроводников, жидкокристаллических дисплеев.

ООО «УАТП Медиана-Фильтр» проектирует и производит системы водоподготовки для получения ультрачистой воды для предприятий микроэлектроники.

Конструкция оборудования с модульным принципом построения позволяет обеспечить выход по глубокообессоленной воде от 10 л/ч до 1000 м³/ч и выше. Применяемые технологии позволяют обеспечить непрерывное производство высокочистой воды со стабильным качеством.

Хранение и распределение ультрачистой воды

Для успешного решения задачи хранения высокочистой воды и ее доставки в точки потребления УАТП «Медиана-Фильтр» использует трубопроводы из высокочистых материалов (натуральный полипропилен, PVDF) производства компании «Georg Fischer» (Швейцария) и технологию бесшовной инфракрасной сварки.

Со списком реализованных нашей компанией проектов по созданию систем водоподготовки для микроэлектроники можно ознакомиться здесь.